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做國內單晶爐制造商領先者--訪西安理工晶體科技有限公司總經理王俊輝文章來源:中國電子報 | 發布日期:2008-10-17 | 作者:諸玲珍 | 點擊次數:
在太陽能光伏產業不斷升溫的大環境下,半導體設備廠商也迎來了新的發展機遇。作為國內單晶爐領先廠商的西安理工晶體科技有限公司是如何堅守陣地,不斷創新,勇于開拓國外市場的呢?在西安理工大學工廠成立50周年慶典暨西安理工晶體科技有限公司成立揭牌儀式后,《中國電子報》記者采訪了該公司總經理王俊輝。 光伏產業為設備廠商帶來機會 記者:太陽能光伏產業發展很快,您如何看待這個市場?它為設備企業帶來哪些機會? 王俊輝:太陽能光伏(PV)產業迅速崛起與走熱還能持續相當長的時間,這是因為PV產業屬于國家鼓勵發展的新能源與可再生能源產業,符合國家產業導向;各國政府,特別是美國政府有新的扶植PV產業政策出臺;發達國家紛紛制定中長期發展PV計劃;化石能源價格持續上揚,全球變暖引起異常氣候現象,環保理念加強。根據美國應用材料公司提供的PV產業預測及PV各種技術預測的相對市場占有率來看,盡管多晶硅太陽能電池技術相對市場占有率有下降趨勢,但總體太陽能電池年增長率在以40%—50%的速度發展,未來市場相當可觀。 有專家預言,太陽能將和通信和計算機一起成為21世紀發展最快的產業。在這種態勢下,作為太陽能產業鏈上游的硅材料和設備受到日益關注。而晶體材料的質量在很大程度上取決于制備時的工藝技術和裝備,沒有先進的工藝技術和滿足晶體生長要求、性能穩定可靠的裝備,肯定不能提供性能一致穩定、品質優良的晶體材料。在大規模集成電路和太陽能光伏的發展中,單晶爐是硅材料制備的關鍵設備,在產業鏈中具有舉足輕重的地位。而理工晶科恰恰在單晶爐的制備方面擁有國內領先的技術和產品。 記者:光伏產業鏈上下游企業如何合作,才能讓整個產業健康有序?設備企業在其中充當什么角色? 王俊輝:太陽能光伏產業鏈上下游企業應不斷提高自身創新研發能力;積極引進高端技術人才;國家應加強行業管理,積極培育具有國際競爭力的企業。 在太陽能光伏行業中,所有企業都應在降低成本,提升單晶硅純度上做文章,因為這是目前整個行業面臨的兩個關鍵難點。要解決這兩個難題,設備企業要做到如下幾點:順應太陽能電池片發展需要,推出經濟實用型設備;研發的設備滿足硅晶片質量要求,特別是要提高電池轉換效率,降低硅片的雜質與缺陷。如果就單晶爐而言,應在MCZ(磁場直拉法)及CCZ(多次加料)方向下工夫。 改變運行模式步入發展新時期 記者:從一個校辦工廠發展成為行業的龍頭企業,西安理工晶科經歷了怎樣的發展歷程?有哪些經驗可以和業內企業分享? 王俊輝:談到這點,還要談談理工晶科的歷史。西安理工晶科前身是北京機械學院實習工廠,后改變為生產工廠,之后遷到西安,變成西安理工大學工廠,并于2007年12月27日改制,更名為西安理工晶體科技有限公司(簡稱理工晶科),由西安理工大資產管理公司控股,黃河上游水電開發有限責任公司(簡稱黃河公司)為第二大股東,注冊資金1億元,至此,公司進入了新的發展篇章。公司改變了原有校辦工廠的運行模式,完全按照現代企業機制運行,企業綜合實力大幅提升。 理工晶科自1961年研制成功我國第一臺單晶爐以來,已定型生產12大系列、近百種型號電子專用設備,涉及半導體、光學及激光、化合物、氧化物、氟化物等晶體材料以及多晶硅、合金材料、人工寶石等高科技領域。產品在國內市場占有率達70%以上,累計生產各類晶體生長設備3600余臺,企業承擔過國家多項“863”科技攻關計劃。 從北京機械學院工廠、陜西機械學院工廠、西安理工大學工廠到西安理工晶科,50年來,公司積累和掌握多項具有自主知識產權的單晶爐制造技術,已授權專利15項,組建陜西省“13115工程陜西省晶體生長設備工程技術研究中心”。 記者:理工晶科在高科技產品領域占據一席之地憑借什么?在技術創新及結構調整上有什么突破? 王俊輝:理工晶科開展單晶爐及晶體生長設備研制已有40多年的歷史,打造了一支力量雄厚的技術隊伍和經驗豐富、手藝高超的工人隊伍。從1963年第一臺TDK-36型單晶爐的研制成功,實現國內單晶爐生產零的突破,到1997年TDR-80型、2007年TDR-100型和TDR-150型、2008年TDR-90型單晶爐的問世,理工晶科用40年的時間奠定了國內單晶爐市場的領導地位。TDR-80型單晶爐是公司產量最大的爐型。TDR-100型單晶爐,既能滿足集成電路晶體生長需求,又可適應太陽能大直徑晶體的需要,是公司今后5年-10年的骨干爐型。TDR-150型單晶爐是公司與北京有色金屬研究總院共同完成的“863”科技攻關產品,并已批量生產,這一技術創新成果標志著擁有自主知識產權和核心技術的大尺寸集成電路與太陽能用硅單晶生長設備在我國研制成功,填補了國內12英寸無位錯單晶生長設備的空白。TDR-90型單晶爐能滿足太陽能156×156方圓硅片的需要,加熱系統20英寸-22英寸,投料量90公斤-120公斤,晶體直徑6英寸-8英寸,是功能齊備、價格適中的爐型,該爐在今后3年將是太陽能單晶硅設備更新換代發展最快、需求最大的主力爐型。 理工晶科的發展與國內大廠和研究所的密切合作息息相關,當今晶體生長設備與生產工藝的結合日趨緊密,晶體生長工藝技術決定了設備的發展和結構。理工晶科歷來重視晶體生長工藝在設備研制中的重要地位,新爐型的研制過程得到了中科院半導體所、北京有色金屬研究總院、洛陽單晶硅廠、峨眉半導體材料廠等單位的幫助。 成立50年來,理工晶科始終把技術創新放在第一位,從T40的光環法等徑控制、T50的軟軸提拉結構、T60的減壓拉晶工藝、T62的晶體等徑控制,一直到T120的多項功能技術,在國內均是首創。 記者:目前國內很多不同行業的企業都在關注太陽能光伏產業,有的已經介入進來,而作為這個領域技術領先的設備公司,理工晶科會不會向產業鏈的上下游延伸?未來,理工晶科如何進一步提升公司的競爭力? 王俊輝:目前,我們建立了自己的單晶生產基地,目的是進行相應的工藝研究,不斷改進我們的設備制造技術以適應新的生產工藝,同時給我們的客戶進行設備使用培訓,更好地服務客戶。今后是否會進行大規模單晶生產視行業及公司的發展而定。 目前,理工晶科除了在單晶爐領域繼續耕耘外,在太陽能光伏上游設備也開辟了一片天空。我們的硅芯設備及多晶硅檢測設備已經進入國內生產線,而且擁有很高的占有率。未來,我們還將利用在太陽能光伏產業上的積累,逐步向集成電路設備邁進,爭取早日為國內IC生產線配套。 今年我們的銷售收入將達到3億元,未來公司將具備年產500臺套太陽能光伏設備的生產能力,并用3年-5年時間上市。 對外合作提升理工晶科競爭力 記者:理工晶科在國內擁有很高的聲譽,最近在和國外公司的合作方面也消息頻傳,請您談談公司對外合作的情況。 王俊輝:我們與世界著名的晶體生長設備制造商德國CGS公司在2004年合資成立了西安華德晶體生長設備有限公司,生產全自動高端單晶爐設備。2007年8月,又與全球最大的半導體設備廠商美國應用材料公司簽訂了營銷合作協議及技術合作協議。 記者:與CGS合作的初衷是什么?目前進展如何?而與應用材料公司合作基于什么考慮?還會不會與其他國外公司合作? 王俊輝:與CGS公司的合作,當初的定位是針對日本市場開發全自動太陽能設備,以技術為主,產業為輔。德國CGS公司在自動化、產品安全性方面的優勢很明顯,而理工晶科在機械加工方面具有很大的成本優勢,因此雙方的合作,是本著優勢互補的原則進行的。到目前為止,理工晶科也已經能夠生產高端單晶爐產品,因此,西安華德公司的產品定位還會再進一步明確。 而我們與應用材料公司的合作,前期簽訂的是海外銷售協議。我們和應用材料公司合作在技術方面取得很大成功,在共同研制澆鑄爐方面也取得很大進展。他們認可我們的核心技術,不會對我們的自主知識產權產生影響,而是會幫助我們提升產品的安全性及品質。大家知道,應用材料是國際知名的設備供應商,他們的管理和設計理念很值得包括我們在內的國內設備廠商學習,和他們合作,會讓我們按照國際大公司的行為模式去做,去思考。我們與應用材料的合作只是集中在某個單獨的產品和市場,只要是在市場不沖突的情況下,我們會考慮和其他國外公司進行合作。 記者:理工晶科的設備都出口到哪些國家和地區? 王俊輝:目前我們的設備已經出口到日本、美國、伊朗、巴基斯坦、印度尼西亞及奧地利,其中,日本是我們出口最多的國家。
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