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公開(kāi)號(hào)：101169485 

發(fā)明人：杜心康;王 聰;周 瓏;王天民;陳步亮

地  址：100083北京市學(xué)院路37號(hào)

    本發(fā)明涉及一種中高溫太陽(yáng)能選擇性吸收涂層。具有三層膜結(jié)構(gòu)，從底層到表面依次為紅外反射層、吸收層和減反射層。吸收層的成分由Nb與其氮化物的混合物組成，結(jié)構(gòu)由厚度和金屬體積百分含量不同的兩個(gè)亞層構(gòu)成，可形成干涉吸收效應(yīng)。吸收層以Nb靶為濺射靶材，通過(guò)直流反應(yīng)磁控濺射制備，濺射氣體為Ar氣，反應(yīng)氣體為N2。涂層具有良好的中高溫?zé)岱€(wěn)定性，并且具有可見(jiàn)-紅外光譜高吸收率，紅外光譜低發(fā)射率的特點(diǎn)。吸收層的制備采用單一金屬Nb靶，僅需調(diào)節(jié)N2流量就可獲得Nb與其氮化物的混合物，使得工藝簡(jiǎn)便、易于控制、顯著降低工藝成本、縮短生產(chǎn)周期。適用于中高溫工作溫度(300℃-500 ℃)的太陽(yáng)能集熱管。